爐體設計

通過FEA有限元優化結構設計

全自動主、副室提升、旋轉機構

高精度、高負載上下軸設計

高效主真空系統

先進的水冷熱屏設計保障提高長晶效率

CFD流道優化設計減少熱斑現象的發生

分布式控制系統

標準工業總線

采用可現場更換的通用元器件

采用工控機加PLC保證運行穩定：即使在工控機死機的情況下

仍然可以通過PLC對爐體進行控制

先進可靠的數字閉環控制系統

精密的閉環測量及控制系統保證了晶體生長過程的穩定性、

可靠性及一致性

獨特的控制運算法則，預估問題并及時更正

熱場設計

采用專業軟件CG Sim優化晶體生長工藝和開發先進熱場

全自動生長控制

可以實現單晶生長從抽空一檢漏一穩壓一熔料一穩溫一自動

熔接引頸一放肩一收肩一等徑收尾一停爐全過程的自動控制

增強了液口距監測和多次復投料功能的自動化控制

Krystal Vision TM測量系統

500萬像素高分辨率大景深CCD一精確的直徑測量能力

專業的圖像處理器、處理軟件和高度集成控制

液口距實時監測，實現精準工藝控制

提供功率拉晶功能，改善溫度梯度分布、提高晶體品質